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精确的晶圆器件与工艺表征
高精度探针系统，支持在多种温度下进行测试。在EMI屏蔽、避光和无水分的测试环境中，可在-60°C至300°C的温度范围内实现卓越的测量性能，适用于广泛的应用场景。
主要特点
可重新配置用于直流、射频、毫米波、法拉第旋转器、波导线缆等
可用温度范围：-60˚C至300˚C
满足您未来需求的升级路径
在宽温度范围内实现稳定且可重复的测量
采用MicroChamber®技术，提供无水分、避光且具备电磁屏蔽功能的测试环境
采用AttoGuard技术的PureLine提供先进的电磁屏蔽
低噪声和1/f测量的最佳解决方案
最小化交流和频谱噪声
最小化建立时间以实现高效测量，同时在整个温度范围内不牺牲精度
锁定滚出台
创新显微镜远程控制
直观的人体工程学舞台控制
快速、安全且舒适的晶圆存取
便捷的晶圆表面导航
快速设置与测试数据采集