150mm探针台

FormFactor为其同类最佳的150毫米探针台引入了全新的模块化概念。这将使您能够以令人难以置信的价格，更轻松地根据当前和未来的需求配置个性化的探针解决方案

同轴——直流参数测试，低至pA级别

• 可移动压盘，高度调节范围40 mm，接触/分离行程200 μm，重复精度± 1 μm

• 带可调摩擦力和夹紧锁的卡盘，独特的Z轴卡盘调节和90毫米拉出距离

• 具有1 μm特征分辨率的磁性定位器，以及配备精密滚珠轴承的3个线性轴

Triax – 低至 fA 级别的低噪声测量

• 体视显微镜：15x–100x放大倍率，具有大视野和可连接相机的C接口

• 四根三轴探针臂和高质量三轴电缆

• 光/电磁屏蔽（可选）

• fF级测量升级选项

• 三轴夹具，具备±8°精细theta夹具旋转、三个辅助区域，夹具表面平面度为±5 μm，确保接触力一致且可过行程

• 单次设置下的东西向/南北向测量

射频测试高达67 GHz

• 提供多种探针技术：Infinity探针, ACP探针, |Z|探针, FCP探针

• 包含匹配的电缆和基板

• 射频卡盘 ±3 μm 表面平整度

• 独特的200 μm压盘接触/分离行程，精度≤±1 μm，确保可重复接触

毫米波 - 70 GHz 至亚太赫兹及读档

• SlimVue显微镜配备快速镜头更换功能，1 μm光学分辨率，可分辨小于50 μm的焊盘

• 毫米波载物台上的刻蚀导轨，适用于特定应用的SIGMA套件

• 支持宽带、负载拉动、同轴射频和带状波导配置

• 载物台位置的光学反馈（测量）

• 隔振平台

主要优点：

灵活性

• 适用于射频、毫米波和亚太赫兹表征、失效分析、双波长测试、微机电系统、光电测试和波长测试等广泛应用

• 可根据需求进行重新配置和升级

• 在不损失性能或准确性的情况下，最大限度地缩短设置时间

• 各种测量仪器的无缝集成

稳定性

• 坚固的台架框架

• 内置减震方案，实现卓越的振动衰减

• 刚性显微镜跨链桥

• 紧凑且刚性的机械设计

• 高精度测量结果

• 采用已知最佳方法

易用性

• 符合人体工程学的直观设计，确保操作舒适便捷

• 低剖面设计

• 显微镜操作简单

• 通过抽拉式载物台快速且符合人体工程学地更换待测器件

• 最小化培训工作量

• 快速获取数据

• 操作便捷